光束質量分析儀(Beam Mass Spectrometer)主要是利用帶電量與質量之比的差異，在外加高頻電場的作用下對不同種類的氣體分子進行質譜分析。構成由四大部分組成：離子化裝置、選擇器、檢測器和信號采集與處理系統。其中，離子化裝置通過碰撞、放電或激光等作用將待測試氣體分子轉化為帶電離子，并將其引入選擇器。而選擇器則通過不同形式的高頻電場的協同作用對質量相近的離子進行篩選和聚焦，形成一個質量能量很少變化的離子束。檢測器則岸上信號采集與處理系統對離子束的信息進行收集和處理，生成質譜圖譜。
 

　　當待測試物質進入離子化器后，一部分分子將會被離子化成電子偶。這些離子將受到正電極板的吸引力而逐漸移動向高壓的電場區，由此在空氣中發生能譜下降。當離子通過篩選器孔徑時，只有那些符合要求的質量離子才能夠得以進入到下一個區域，而質量不匹配的離子則被篩出。選擇器對離子束進行分選后，將剩余的離子束加速到檢測器位置，并生成帶有質量可以確定的信息的峰值分布圖。
 

　　光束質量分析儀具有以下特點和優勢：
 

　　1.能夠通過選擇器的協同作用對離子進行篩選和聚焦，從而使得分辨率達到非常高的程度。
 

　　2.涉及到對輕的離子也要進行分析，并且還需具備較好的靈敏度。這就要求其擁有相對較高的準確度，以便更加準確地檢測出分析物中有害氣體和雜質等物質。
 

　　3.可測試的氣體種類是相對較為廣泛的，可以應用于多種氣體的檢測，并且不受測試環境變化干擾大，性能穩定可靠。
 

　　光束質量分析儀可以廣泛應用于材料表面分析和化學組分分析等領域中。在材料表面分析方面，可以通過測量樣本表面產生的碎片離子來分析其成分、形態與化學狀態等信息。在化學組分分析方面，可以利用它來識別和測定復雜混合系統中的化學物質。除此之外，還可應用于低壓下氣相反應和等離子體研究等領域，為科研和生產提供了有效的技術手段。